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rfの発電機、ガスの組合せ及びポンプ装置が付いている1200°Cの縦のpecvdの炉

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

高周波発電機、ガスミックス&アンプと1200℃の垂直pecvd炉。ポンプシステム


tmax-1200-pecvd シリーズ化学気相成長法(cvd)およびプラズマ化学気相成長法(pecvd)マルチゾーンスプリットチューブ炉 カンタル ®高品質に埋め込まれた(スウェーデン)ワイヤー発熱体 三菱 ® (日本)アルミナ繊維断熱材。すべてのスチール製2層ハウジングは耐久性を保証し、外面への熱損失を最小限に抑えます。


炉操作はによって制御されます シマデン ® rs485デジタル通信ポートとusbアダプタを内蔵した40セグメントのデジタルコントローラ。ユーザーがPCに接続して炉の遠隔操作と監視を行うことができます。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
当社のすべての炉はceに準拠しています。

特徴

コンパクト、ポータブル、軽量設計。

従来のcvdsに比べて必要な処理温度が低くなります。

膜応力は、高/低周波数混合技術によって制御することができる。

迅速かつ容易なチューブアクセスのための分割炉室

標準的なパッケージは弁および圧力計が付いている一組のステンレス鋼の真空シーリングフランジを含んでいます。

マイクロプロセッサベースの自己調整PID制御は、最小限のオーバーシュートで最適な熱プロセスを提供します。

単一サイクルでの複数雰囲気プロセスが可能である(例:バインダーが空気中で焼失し、部品が荒い真空または不活性ガス環境下で焼結する)。

容易なモニタリングとトラブルシューティングのための内蔵のアンペアメーターとデュアルボルメーター。

内蔵のコンピュータインタフェース。

長寿命タイプk熱電対。

スライド式炉オプションにより、超高速冷却速度を実現


炉、真空ポンプ、ガス混合システムの仕様

チューブ素材

石英

発熱体

カンタル ® (スウェーデン)抵抗コイル線

最大vs一定作動温度

最大1200°Cと1100℃の定数

サーモカップルタイプ

k

耐火ライニング

三菱 ® 1500級繊維アルミナ

温度調節器

シマデン ® (日本)fp93 4プログラム40セグメント
(4×10セグメントまたは2×20セグメント)

最大暖房冷却速度

< 30℃/分

温度コントローラーの精密

+/- 1°C(+/- 1.8°f)

真空シールフランジキット

1つの真空計が付いているステンレス鋼の真空シールのフランジ、
2つのバルブと4つの熱セラミックブロック。

電気的要件

220vac、3.5kw、単相

rfジェネレータ仕様

電気的要件

208〜240ボルト50/60 Hz

出力パワー

5〜500ワット、+/- 1%ステップで調整可能

無線周波数

+/- 0.005%の安定性を備えた13.56 MHz

反射力

最大10ワット

マッチング

自動

RF出力ポート

50Ω、n型、メス

冷却

空気

部品の説明

部品画像

分割管炉

1セット

多チャンネルガス供給システム

1セット

プラズマRF電源(オプション)

1セット

真空ポンプとエンクロージャ(オプション)

1セット

石英管

1個

テフロンチューブ(nはチューブ数を表す)

n×5

ステンレス鋼製真空シールフランジ(圧力計付き)

1セット

ステンレス鋼フック

1個

アルミナセラミックサーマルブロック

2ペア

サーマルグローブ

1ペア

高温アル 2 3 アルミナるつぼ

5個

スペアヒューズ

2個

usb / rs485コンピューターインターフェースキット

1セット

炉・しまでんコントローラー取扱説明書

2個


PECVD furnace

1。 私達は機械を供給します 電池技術サポートを使って。

2。 私達は供給する フルセット リチウム電池機器 実験室での研究、パイロット規模での研究、生産用 e。



1標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

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