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実験室1200℃デュアルゾーンスライド式pecvdチューブ炉(オプションのチューブ径)
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50、80、および125 mm odチューブ炉用のrfジェネレータ
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1200℃デュアルゾーンスライディングpecvd炉
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三温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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rfの発電機、ガスの組合せ及びポンプ装置が付いている1200°Cの縦のpecvdの炉
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三温度帯150 mm od pecvd炉
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ミニシングル温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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1200cシングルヒーティングゾーンロータリーペーバー管炉(60 mm od)
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1200 c実験室2 - 5 "シングルゾーン真空ロータリーcvdチューブ炉
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1200°Cデュアルゾーンcvdチューブ炉
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4チャンネルmfcガソリンスタンド付き1200c 3ゾーンcvdチューブ炉
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1200℃デュアルゾーンスライディングcvd炉
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ガス混合およびポンプシステムが付いている1700°c cvdの管の炉
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ガスミキシング&ポンピングシステム付き1400℃cvdチューブ炉
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1200°C pe / cvdファーネス、rfジェネレーター、ガスミックス、ポンプシステム