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1200°C pe / cvdファーネス、rfジェネレーター、ガスミックス、ポンプシステム
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実験室1200℃デュアルゾーンスライド式pecvdチューブ炉（オプションのチューブ径）
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実験室1200℃デュアルゾーンスライド式pecvdチューブ炉（オプションのチューブ径）
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50、80、および125 mm odチューブ炉用のrfジェネレータ
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1200℃デュアルゾーンスライディングpecvd炉
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1200℃デュアルゾーンスライディングpecvd炉
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三温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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三温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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rfの発電機、ガスの組合せ及びポンプ装置が付いている1200°Cの縦のpecvdの炉
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rfの発電機、ガスの組合せ及びポンプ装置が付いている1200°Cの縦のpecvdの炉
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三温度帯150 mm od pecvd炉
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三温度帯150 mm od pecvd炉
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ミニシングル温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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1200cシングルヒーティングゾーンロータリーペーバー管炉（60 mm od）
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1200cシングルヒーティングゾーンロータリーペーバー管炉（60 mm od）
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