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三温度帯150 mm od pecvd炉

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

三温度帯150 mm od pecvd炉


tmax-1200-1200-1200 システムはtl1200真空管炉、石英真空チャンバー、rf電源、gxガス供給システム、ポンピングシステム、真空測定システムで構成されています。

主な特徴:

1.水晶真空の部屋のガスはrfの電源によってイオン状態に変えられます。

2. pecvdは化学気相成長法では通常のcvdより低い。

3.堆積膜の応力は、高周波電源の周波数で制御できます。

4. pecvdは、通常のcvdよりも高い堆積速度、優れた均一性、一貫性、安定性を備えています。

5. siox、sinx、sioxny、アモルファスシリコン(a-si:h)などのさまざまな膜の成長に広く使用されています。

ダブルシェル構造と30プログラム温度制御テーブル、位相シフトトリガー、サイリスタ制御、多結晶アルミナ繊維材料を使用する炉を使用して、スウェーデンのカンタル抵抗線加熱要素にtl1200 - pecvdシステム技術、両端のステンレス鋼フランジシール炉の管、ステンレス鋼のフランジの取付けは口、弁および圧力計、真空、真空度が10-3 paに達することができる、表面温度、上昇温度率、省エネ、価格の譲歩、等に達することができる

1.スウェーデンのカンタルa1抵抗線

カンタルa1オリジナルワイヤー中国抵抗線炉vs輸入抵抗線炉

(1)、高い表面温度は1420に達することができます

(2)表面はステンレス鋼(非常に明るい、顧客はそれに注意を払う必要があります)、それは錆びることはありません、そして使用時間はスラグから落ちることはありません。

(3)カンタル抵抗線のデータをダウンロードする

(4)カンタル抵抗線のウェブサイト:www.kanthal.com

(5)抵抗は釣り合っていて、温度場は等しくよいです

ほとんどの製造業者は、モリブデン抵抗線でドープされたFe-Cr-Al合金を使用しています。

抵抗値が不均一で、熱の一部が小さい場合があります。カンタルa1抵抗値が均一で熱のバランスが取れている、良好な温度場効果

2.エアースイッチと漏れ防止装置の取り付け:

電流や漏れがあると、空の会議は自動的に切断されます。

3。 コンピュータと接続できます

この炉は通信インターフェースとソフトウェアを備えており、直接各パラメータの炉のコンピュータ制御を介して行うことができ、ストーブとsvの温度値と機器の操作、炉曲線描画コンピュータの実際の温度でコンピュータPVから観察することができ実時間、そして各時間の温度データを保つことができますいつでも呼出すことができます

4。 部屋


(1 )真空吸引およびフィルター成形を用いる高品質で高純度のアルミナ多結晶繊維硬化炉。

(2)形成するために日本の技術を採用する。

(3)炉内の抵抗線の間隔とピッチは日本の最高の熱技術に従って配置され、温度場は熱ソフトウェアによってシミュレートされます。

(4) 4週間の暖房を使用して、温度はよりバランスが取れています

5.オプションのUL認定電気基板(輸入家電製品のUL認証をすべて通過)

6.引き金

ソフトスタート電流制限トリガーほとんどのメーカーは、制限のないアモイボードトリガーを使用しています

1位相シフトトリガ(ソフトスタートと電流制限機能付き)

2.変流器の二次電流が170a以下に制限された後、電気炉の加熱時間をどのように調整しても装置の保護は制限されません。加熱速度が正しく設定されていないか、または速すぎる場合は、非制限的なトリガーです。低電流は非常に大きいため、デバイスがトリップまたは焼損します。

3ソフトスタート機能電流はゆっくりと発熱体の影響が小さい電流を増加させる発熱体の寿命の延長に資するです

4保護機能電流が制限電流を超えると、トリガは自動的にトリガ機能を遮断して電流保護炉を遮断します。

7. UL認定トランス

1トランスケーブルは純銅です

2トランス音が小さい

3トランス温度が低い

8.さまざまなフランジを選択するさまざまなオプション(25から250mmまでの直径)

モデル

tmax-1200-1200-1200 - 私

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -iii

tmax-1200-1200-1200 -iv

チューブサイズ

直径120(外径)×1800mm

60(外径)×1800ミリメートル

80(外径)x 1800 mm直径

100(外径)x 1800 mm直径

外形寸法図(lxdxh)

1800 x 480 x 680

1800 x 410 x 610

1800 x 410 x 610

1800 x 460 x 660

電源電圧

220 v

スライドレール素材

304ステンレス鋼

スライディングモード

ステンレス鋼の転がり軸受

相数

単相

発熱体

スウェーデンカンタルa1抵抗線をクリックしてデータをダウンロードダウンロード

制御モード

電気プログラム制御温度計(標準)を使用
1. 30プログラム制御温度インテリジェントPID調整。
それが暖かいによって保護されているか、誤って壊れているとき2.電気炉の加熱回路は自動的に遮断することができます。 (炉の温度が1200度を超えるか、熱電対が故障すると、主回路のACリレーが自動的に切断され、主回路が故障し、パネルのライトが消灯し、制限された保護電気炉が消えます。
3. 485通信インターフェース(標準およびソフトウェア選択の標準)
それは停電保護の機能を持っています、すなわち、電源がオフのとき、プログラムは開始温度から起動しませんが、炉は電源がオフのとき上昇し始めます。

器械は温度の自己設定の機能を備えています

(輸入した商品を交換するには、別料金を支払う必要があります。)

fp93温調テーブル(しままん)

ヨーロッパの楽器 タッチスクリーン機器

温度制御モード

pid

保護とディスプレイさえ壊れている

はい

過熱保護

はい

過電流保護

はい

制御精度

+ / - 1

引き金

位相シフトトリガ

電気製品

浙江チント

シリコン制御整流器

106 / 16e西門、ドイツ

最高気温

温度帯1:1200 温度帯2:1200

定格温度

温度帯1:1100 温度帯2:1100

昇温速度

20 / min以下(必要に応じて変更可能)

推奨昇温速度

10年 /分以下

熱電対のモデル

ゾーン1:kタイプの温度範囲2:kタイプ

加熱長

ゾーン1:200mmの温度範囲。 2:200 mm

電気認証

ce

周囲の表面温度

45 以下

rf電源

(プラズマ発生器)

パワー出力範囲

0〜500ワット

最大反射パワー

200 w

動作周波数

rf:13.56 MHz±0.005%

電力安定性

+ / - 0.1%

高調波成分

- 50 dbc以下

rf幅

0〜600 - mmは調整可能

マッチングモード

自動

冷却モード

風邪

ノイズ

< 50デシベル

無線周波数インタフェース

50Ωn - タイプ

入力電源

208-240 - v 50/60 hz

gxガス供給システムの主なパラメータ

質量流量計
標準範囲
プロトン流量制御装置を使用する5、10、20、30、50、100、200、300、500sccm、1、2、3、5、10slm
(範囲とガスの種類の範囲を選択できます)
最高使用圧力3 mp
±1.5%の精度
圧力降下< 0.01mpa < p = "">
繰り返し精度±0.2%f.s

チャンネル:

1、2、3、4、5、6、7、8(オプション)

ジョイントタイプ

二重カセットステンレス鋼のコネクター

システム作業圧力範囲

0.1〜0.5 mpa

作業温度

5〜45

圧力真空時計

0.1〜0.15 mpa〜0.01 mpa /ケース

静的混合チャンバー

直径50×400 mm

インタフェース

dia6 1/4 "

電源

220 v

サイズ

600×600×600

コルゲートパイプ

kf25×1000mm

真空度はこのシステムと達することができます

10-1

真空バッフルバルブ

kf25

8つの真空ポンプへのvrd

モデル

8から8

分圧を制限する

5 x 10 -2 pa

吸気口排気インターフェース

kf25

モーター速度

1440 rpm

抽出率

2.2リットル/秒

モーターのパワー

0.4キロワット

より完璧なacp1オイルフリー多段式ルーツポンプ(計画2)

モデル

acp15

電源

ac100〜240v 50 / 60hz

パワー

450ワット

排気インターフェース

kf25

重量

25キロ

最大ヘリウムリーク率は

5・10-8Pa m 3 / s

極真空度

0.02トル

抽出率は

14 m3 / h

モデル

zdr - 1

パワー

25 w

真空度測定範囲

0.1-10 5 pa

抵抗シリコン

52 tに必要なもの

スウェーデン(inficon)ピラニ静電容量式真空計(オプション)

モデル

pcg554

入力電圧

24V 1a DC(220Vトランス搭載)

真空計インターフェース

kf16

デジタルディスプレイ

データ表示装置がtorrであるデジタル表示装置(スクリーンサイズ20x14mm)

商品のサイズ

46mm×28mm×126mm(1×w×h)

の重量

5ポンド

ガス検知

正確で再現性のある混合ガスを含むさまざまなガスを検出できます。

防食かどうか

防食

応答時間

30ミリ秒以下

測定範囲

3.8×10-5-1125トル。

分子ポンプユニット(オプション)

ユニット入力電圧

380 v / 220 v

コルゲートパイプ

kf40×1000

真空バッフルバルブ

kf40

ケースサイズ

600×600×600

分子ポンプ

分子ポンプモデル

fj620

入力電圧

380V

分子ポンプ入口フランジ

dn160

分子ポンプ排気速度l / s(空気用)

600

分子ポンプ限界圧力(pa)

6×10-7

冷却システム

水冷

冷却水圧(MPA)

0.1から0.2

冷却水温

< 25年 < p = "">

環境温度

0〜40

推奨開始圧力

< 100 pa< p = "">

エンジンバキュームポンプrvp - 6

パワー

0.75キロワット

電圧

380V

速度

1450 rpm

入口径

kf25 / kf40

ポンプ排気速度(l / s)

6

到達圧力

4 x 10 -2 pa

ドイツファイファー真空ポンプ

電圧

220 v

パワー

110w。

抽出インターフェース

kf40

の重量

150キロ

フロントポンプのポンプスピード

0.9 m 3 / h

抽出率(n 2)

33 m / s

複合真空計

複合真空計モデル

zdf

電源

220 v 55 w

制御精度

プラスマイナス1%

真空計測定範囲

10-5-10 5 pa

PECVD furnace

1。 私達は機械を供給します 電池技術サポートを使って。

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1標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

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